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高精度隔膜電容真空計RBM350:助力高性能應用的理想選擇

2025-03-10  來自: 廈門太星機電有限公司 瀏覽次數:150

 在現代工業和科研領域,高精度測量設備的需求日益增長。隔膜電容真空計RBM350憑借其的性能和廣泛的適用性,已成為半導體制造科研實驗、醫療設備及航空航天等領域的關鍵設備。本文將為您詳細介紹RBM350的技術特點、產品優勢及其在實際應用中的表現。

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產品亮點:高精度與快結合

RBM350以其高精度、快速穩定和快速恢復的特性脫穎而出,主要優勢包括:

高精度測量:精度等級達0.25級,讀取誤差低至0.2%(≥133Pa)和0.5%(≤133Pa),確保測量數據的準確性。

快速穩定與恢復:電源接通后迅速穩定,暴露于大氣壓力后也能快速恢復,顯著提升工作效率。

很好的穩定性:長期信號穩定性優異,零漂移僅為0.005%F.S./℃,全尺度漂移為0.04%F.S./℃,確保數據可靠性。

溫度補償功能:內置溫度補償,有效降低環境溫度對測量結果的影響。

耐腐蝕設計:采用耐腐蝕陶瓷傳感器,適用于復雜環境,延長設備使用壽命。

操作便捷:支持一鍵式零調節和全數字鍵校準,用戶可輕松調整參數。

廣泛電源適配:電源電壓范圍為+14VDC~30VDC,適應多種電源環境。

隔膜電容真空計RBM350技術規范

 隔膜電容真空計RBM350

隔膜電容真空計RBM350

應用案例:助力半導體制造效率提升

某半導體制造企業在高端芯片生產過程中引入RBM350,解決了原有設備精度不足的問題。在光刻、蝕刻等關鍵工藝中,RBM350的高精度測量和快速響應特性確保了真空環境的實時監控,避免了真空波動導致的光刻膠異常曝光。同時,其耐腐蝕陶瓷傳感器在化學氣相沉積(CVD)等復雜環境中表現穩定,顯著提升了芯片產量和生產效率。

廣泛應用領域

科研領域:用于物理、化學、材料科學等實驗中的真空度精確測量,為研究提供可靠數據支持。

工業生產:在半導體制造、真空涂層、真空熱處理等工藝中,確保產品質量和生產效率。

醫療領域:用于真空泵、呼吸機等設備的壓力監測,保障設備正常運行和患者安全。

航空航天:在航天器制造與測試中,模擬空間環境并提供精確的真空度數據支持。

常見問題解答

如何校準RBM350?
RBM350支持全數字鍵校準,用戶可根據操作手冊輕松完成參數調整。

溫度是否影響測量精度?
RBM350內置溫度補償功能,有效降低溫度對測量結果的影響。

傳感器如何防污染?
其結構設計可有效阻止外部雜質進入,延長傳感器壽命。

暴露于大氣壓力后恢復時間?
RBM350具備快速恢復能力,可滿足大多數應用場景的需求。

隔膜電容真空計RBM350


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